高温炉在使用过程中，根据工艺需要会通入保护气体，那么这些气体会对硅碳棒参数怎样的影响呢？
水蒸气的影响：水蒸气（H2O）在1100℃时与SiC发生强烈化学反应，生成Si、SiO2和C。硅碳棒表面出现裂纹，电阻增长速度很快。
二氧化硫（SO2）的影响：SO2在1300℃与SiC反应，故使用温度应控制在1300℃以下。
氮气（N2）的影响：当硅碳棒表面温度达到1400℃时，N2就与SiC发生反应，生成氮化硅，使硅碳棒的电阻值显著增长。
干燥空气的影响：硅碳棒能在高温（1600℃）、干燥的空气中长期使用，电阻缓慢增加。氧气（O2）与SiC在高温时发生反应，生成二氧化硅（SiO2）。由于硅碳棒表面形成了一层SiO2保护膜，因此硅碳棒具有很强的抗氧化性。
氢气（H2）的影响：在1250℃时，H2与SiC发生反应，生成甲烷（CH4）,破坏SiC发热体。
氯气（Cl2）的影响：Cl2在600℃时就会与SiC发生反应，在1200℃时，Cl2会把硅碳棒完全分解。
氨气（NH3）的影响：NH3在高温时可分解成成N2和H2。故使用温度应控制在1250℃以下。
好了，本小编也就知道这么多了，有不详细的地方，还请多多包涵。
豫公网安备 41032302000213号
